光刻机减振器突破者陈学东院士透露“成功秘诀”

“正是有了无数个一丝不苟的攻关，才促成了我国首台IC光刻机的问世。”5月10日，华中科技大学（以下简称华科大）“科学家精神进校园”系列活动新闻发布会上，中国工程院院士、华科大教授陈学东在回答《中国科学报》提问时表示，科学研究往往没有捷径可走，重大科学技术突破靠的是对“敢为人先、勇攀高峰、一丝不苟、精益求精”等科学家精神的长期坚持。

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陈学东院士回答《中国科学报》提问。华科大供图

据悉，光刻机是芯片制造流程中光刻工艺的核心设备，堪称半导体制造业皇冠上的明珠，我国在该领域长期落后，一度被“卡脖子”。由于无法突破技术瓶颈，我国减振器长期依赖进口。为了打破这一技术垄断，2002年起，长期从事机械动力学设计与控制研究的陈学东，开始研发国产减振器。他22年如一日，终于攻克光刻机减振器研发瓶颈，为我国重大装备制造的自主可控作出重要贡献。

“能否结合光刻机减振器研发经历，谈一谈科学研究要想取得重大突破，需要秉持哪些精神？”面对《中国科学报》的现场提问，陈学东坦言，不管是前沿科学研究还是实际工程攻关，都需要始终坚持追求真理、严谨治学的求实精神。

“记得2007年我们在做90纳米IC光刻机样机调试时，偶尔会碰到工作台出现一种异常的小幅振动现象，以往经验和所谓的‘常识’没法解释。如果不搞清楚原因，不解决这种偶发瑕疵，就可能对曝光成像的良率造成影响。”他介绍，为解决这一难题，他带领团队和企业技术人员团结协作、集智攻关，通过三四年的努力，终于发现了工作台中常人意想不到的另一支“隐形的手”，并且搞清楚了怎么设计工作台来减小它的影响。正是有了无数个像这样“一丝不苟的攻关”，才促成了我国首台IC光刻机的问世。

发布会现场。李思辉摄

“我也想结合这段攻关经历，谈谈勇攀高峰、敢为人先的创新精神的重要性。”陈学东介绍，德国一家公司凭借用永磁体做准零刚度这项创新，做成了减振器行业标杆，成为阿斯麦光刻机的减振配套商。我们分析发现他们的技术其实还是有缺陷，于是我们摸索出一种新思路，经过十多年的不懈努力，研制出新型准零刚度减振器，综合性能实现超越，终于解决了高端主动减振器国产自主可控难题。其实不仅是光刻机，像现在正在发展的无人装备、人形机器人等技术研究，都需要我们发扬勇攀高峰、敢为人先的创新精神。

他总结说，敢为人先、勇攀高峰，一丝不苟、精益求精，沉下心来、执着坚持等等，是科学研究取得重大突破的关键。新时代的年轻人有朝气、有活力、有宽广的视野，继承和发扬这些科学家精神，相信，未来一定能够取得更大的突破。

据悉，华科大“科学家精神进校园”系列活动的首场活动将于5月12日举行，陈学东院士将走进国家级示范性高中——江苏省姜堰中学进行宣讲。